硅片檢測分選機主要用于硅片進行檢測和分類，并提供檢測數(shù)據(jù)及分類匯總數(shù)據(jù)，能正常實現(xiàn)硅片的平均厚度、TTV、電阻率、導電類型，線痕值、隱裂、可見裂紋、雜質(zhì)、穿孔、臟污、崩邊、缺角、邊長、倒角長度、對角線長度、直角邊長度、垂直度、平行度、項目的檢測功能，并根據(jù)檢測結果和設置的分類方式進行判斷分類。
主要技術要求
1.傳輸速度≤0.45s /片,產(chǎn)能≥8000片/h（不同尺寸有所不同） 。
2.碎片率≤0.1%。
3.設備開機率≥98%（設備開機率=月設備正常運行時間/月計劃開機時間）。
4.設備的上料架機構能匹配使用依據(jù)我司提供花籃圖紙設計的30片層花籃。
5.檢測和分選設備噪音≤60dB(A)。
6.設備具有斷電或報警觸發(fā)時的安全停機功能，確保運行參數(shù)的安全存儲。
7.下料分類區(qū)域?qū)崿F(xiàn)13個下料盒，其中至少有2個四層下料盒，其余的至少是單層下料盒。
8.開放數(shù)據(jù)庫，方便MES 的訪問對接。
